日本電子掃描電鏡的主要系統(tǒng)介紹

　　日本電子掃描電鏡照片是灰度圖像，分為二次電子像和背散射電子像，主要用于表面微觀形貌觀察或者表面元素分布觀察。應(yīng)用于對(duì)樣品微區(qū)形貌，結(jié)構(gòu)與組成進(jìn)行觀察與分析。 它以分辨率高，景深好和操作簡(jiǎn)單而被廣泛應(yīng)用于材料學(xué)，物理學(xué)，化學(xué)，生物學(xué)，考古學(xué)，地礦學(xué)和微電子工業(yè)。
 

　　一般二次電子圖像主要反映樣品表面微觀形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情況需要對(duì)比分析。背散射電子圖像主要反映樣品表面元素分布情況，越亮的區(qū)域，原子序數(shù)越高?？幢砻嫘蚊?，通常亮的區(qū)域高，暗的區(qū)域低
 

　　日本電子掃描電鏡主要由七大系統(tǒng)組成，即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。其中較重要的三個(gè)系統(tǒng)是電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。
 

　　1、電子光學(xué)系統(tǒng)
 

　　電子光學(xué)系統(tǒng)包括電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室等，主要用于產(chǎn)生一束能量分布窄、電子能量確定的電子束用以掃描成象。
 

　　2、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)
 

　　電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測(cè)器譬如二次電子探測(cè)器、X射線能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。
 

　　3、真空系統(tǒng)
 

　　真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類(lèi)，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。